全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
来源：财联社
财联社8月14日电，出炉据杭州日报，全国近日，首台商业作为基地首批签约孵化项目之一，国产光刻全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，电束其精度比肩国际主流设备，机杭标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。出炉在测试现场，全国浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，首台商业一台模样酷似大型钢柜的国产光刻机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。电束“这不是机杭普通的机器，而是出炉一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，全国依托省重点实验室，首台商业这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。
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